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真空泵组轴承温度会异常过高的原因
水环真空机组高负荷运行后,轴承部件的温度会持续升高,甚至超过规定的范围值,如果不及时处理轴承温度升高的问题,会对设备造成严重损失,甚至导致设备无法正常运行。如果加油量不当,润滑脂过少或过多,轴承箱应根据工作要求定期加油,轴承加油后,有时温度较高,主要是加油过多。此时,现象是温度继续上升到达某一点后将保持不变,然后逐渐下降。
水环真空机组的润滑油选择不合适,不易形成均匀的润滑油膜,不能减少轴承内部的摩擦和磨损,润滑不足,轴承温度升高。当不同类型的油混合时,可能会发生化学反应,导致油变质。结块,以减少润滑效果。油污染也会增加轴承温度,在加油过程中落入灰尘,造成油污染,导致轴承箱内油变质,破坏轴承润滑,温度升高。所以应选择合适的油,清洁轴承箱和轴承,螺杆真空泵厂家,检查和疏浚加油管道,不同型号的油不得混合。更换其他型号的油时,应先清理,定期加油,螺杆真空泵多少钱,妥善保管防潮防尘措施。
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真空泵泵总体结构型式
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构。立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,故这种型式多用于小泵。卧式泵的进气口在上,排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便,可将排气口从水平方向接出,即进、排气方向是相互垂直的。此时,排气口可以从左或右两个方向开口,除接排气管道一端外,另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构低,高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制,转子装配方便,泵占地面积小。但泵较高且齿轮拆装不便,润滑机构也相对复杂。
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真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,螺杆真空泵公司,称之为低温分子泵,螺杆真空泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
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