真空泵滑阀式真空泵

广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。滑阀真空泵可单独使用，也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时，需附加装置。优点：相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大，小型真空泵，价格相对高一点。用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。

真空泵漏气怎么办

在日常的企业使用中，我们在使用水环式真空泵的时候有可能会出现漏气的现象，拧紧水环真空泵的所有联接螺栓，拧紧填料压盖，紧紧地包缠管道及仪表与其它部件连接的地方。或者更换垫片、填料。对于空气泄漏之处，小型真空泵多少钱，还可以涂上油石灰等作为临时的补救措施。轴承歪斜使叶轮倾斜地装在泵体中。对于单作用泵而言，其轴向间隙不均匀，叶轮旋转时，小型真空泵哪家好，必然会有一部分与侧盖摩擦，小型真空泵公司，擦伤侧盖和叶轮端面，使轴向间隙增大。压缩腔气体在通过增大了的间隙时，大量地泄漏到吸入腔里去，使真空度或排气压力降低。这时必须将水环真空泵的轴承拆下来进行修理，然后再进行正确地安装。

真空泵分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

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